Mataas na Purong 99.8% titanium grade 7 rounds sputtering targets ti alloy target para sa pabrika ng supplier ng patong
Mga parameter ng produkto
| Pangalan ng produkto | Titanium target para sa makinang patong na pvd |
| Baitang | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Target ng haluang metal: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr atbp |
| Pinagmulan | Lungsod ng Baoji Lalawigan ng Shaanxi china |
| Nilalaman ng titan | ≥99.5 (%) |
| Nilalaman ng karumihan | <0.02 (%) |
| Densidad | 4.51 o 4.50 g/cm3 |
| Pamantayan | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Sukat | 1. Bilog na target: Ø30--2000mm, kapal 3.0mm--300mm;2. Plato Target: Haba: 200-500mm Lapad: 100-230mm Kapal: 3--40mm;3. Target na tubo: Diametro: 30-200mm Kapal: 5-20mm Haba: 500-2000mm;4. Available ang customized |
| Teknik | Huwad at Makinang CNC |
| Aplikasyon | Paghihiwalay ng semiconductor, Mga materyales sa patong ng pelikula, Patong ng elektrod na pang-imbakan, Patong na sputtering, Patong sa ibabaw, Industriya ng patong na salamin. |
Mga kinakailangan sa kemikal ng target na titanium
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Nilalaman ng elemento (≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Iba pa | ||||
| Purong Titanium | Gr.1 | TA1 | Klase 1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Klase 2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| TitanHaluang metal | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klase 60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | Al:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| Gr.7 | TA9 | Baitang 12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd:0.12-0.25 | |
| Gr.12 | TA10 | Klase 60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Mo:0.2-0.4 Ni:0.6-0.9 | |
Mga paayon na mekanikal na katangian sa temperatura ng silid
| Baitang | Lakas ng makunatRm/MPa(>=) | Lakas ng aniRp0.2(MPa) | PagpahabaA4D(%) | Pagbawas ng lawakZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Mga Target na Titanium Sputtering
Ang karaniwang laki ng titanium sputter target: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 atbp.
Maaari ring ipasadya ayon sa mga kahilingan o guhit ng customer
Mga kinakailangan sa target: mataas na kadalisayan, pare-parehong mga butil ng kristal, at mahusay na pagiging siksik.
Kadalisayan: 99.5%, 99.95%, 99.98%, 99.995%.
Proseso ng Produksyon ng Titanium Target
titanium sponge --- tinunaw para maging titanium ingot --- pagsubok --- pagputol ng ingot --- pagpapanday --- pag-ikot --- pagbabalat --- pagtutuwid --- pagtukoy ng depekto gamit ang ultrasonic --- pag-iimpake
Mga Tampok ng Target na Titanium
1. Mababang Densidad at Mataas na Lakas ng Espesipikasyon
2. Napakahusay na Paglaban sa Kaagnasan
3. Mahusay na Paglaban sa Epekto ng Init
4. Napakahusay na Bearing sa Cryogenics Property
5. Hindi magnetiko at hindi nakalalason
6. Magagandang Katangian ng Thermal
7. Mababang Modulus ng Elastisidad







